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合格的原料气源经减压阀进入氧气发生器，通过变压吸附法（美国美国UOP公司的制氧分子为吸附剂）分离把多余氮气排除，留下剩余氧气，让氧气浓度达到90%以上才释放输出，以供给3G移动式臭氧发生器是浓度较高的氧气。
将高浓度氧气输入到3G移动式臭氧发生器中，在3G移动式臭氧发生器的高频高压电场内，氧气(O2)转换成臭氧(O3)，经流量、压力调节阀调节和涡街流量计、压力变送器及温度变送器检测流量、压力、温度，以及臭氧监控仪检测臭氧浓度后，臭氧发生器所产生的臭氧经涡街流量计和总管压力变送器检测总流量及压力后进入水冷却臭氧复合管。
